真空ISO-F法蘭氣動閘板閥
應(yīng)用于半導(dǎo)體和其他加工領(lǐng)域等高真空或超高真空系統(tǒng)中，對真空泵和腔體之間的閉合。
多種法蘭接口連接方式CF、KF、ISO-K、ISO-F等。
真空度:1.0*10 -9Torr，
溫度范圍：-25℃~≤205°C
材質(zhì):SUS316L
表面處理:內(nèi)外電解拋光。
專利設(shè)計(jì)，最小的外形尺寸，提供最大的流導(dǎo)。
壽命:10萬次開啟。
提供手動或氣動兩種驅(qū)動方式。
手動閥端口在3"及及以下的型號無曲向手柄。
氣動閥端口在1.5" 及壹拾徑或更大的型號都包含用于位置指示的磁性開關(guān)。
氣動閥在動力損失或氣壓損失的情況下保持關(guān)閉。
可提供2D\3D模型，接受非標(biāo)定制。如有需求可咨詢銷售工程師。
- 尺寸參數(shù)
- 產(chǎn)品特性
