鋁合金真空閘閥
應(yīng)用于半導(dǎo)體和其他加工領(lǐng)域等高真空或超高真空系統(tǒng)中，對真空泵和腔體之間的閉合。 多種法蘭接口連接方式CF、KF、ISO-K、ISO-F等
憑借堅固的設(shè)計和直接安裝選項，以及分體式結(jié)構(gòu)帶來的簡化維護(hù)，輕松滿足所有標(biāo)準(zhǔn)要求
在驅(qū)動、法蘭連接或額外真空接口方面的多種設(shè)計選擇，使其易于集成到任何真空應(yīng)用中
可集成客戶定制的法蘭以及特殊功能部件
壽命:10萬次開啟
標(biāo)準(zhǔn)閘板密封采用氟橡膠（FKM）制成的 O 形圈密封，如有要求也可提供其他密封材料
- 尺寸參數(shù)
- 產(chǎn)品特性
