一體式氣動(dòng)90°角閥

一體式方形鋁制擋板閥

卓越的導(dǎo)熱性使整個(gè)閥體溫度均勻，并顯著減少閥內(nèi)氣體的冷凝。

低釋氣性使得可以使用低功率泵，并且還能縮短排氣時(shí)間。

工作壓力：1x10-5Pa

大通量、小體積、（閥體）優(yōu)異的抗氟腐蝕性能。

該閥門不含鎳（Ni）或鉻（Cr）等重金屬，而且其低濺射率也有助于將半導(dǎo)體晶圓的重金屬污染降至最低。

卓越的導(dǎo)熱性使整個(gè)閥體溫度均勻，并顯著減少閥內(nèi)氣體的冷凝。

低釋氣性使得可以使用低功率泵，并且還能縮短排氣時(shí)間。

大通量、小體積、（閥體）優(yōu)異的抗氟腐蝕性能。

該閥門不含鎳（Ni）或鉻（Cr）等重金屬，而且其低濺射率也有助于將半導(dǎo)體晶圓的重金屬污染降至最低。