超純不銹鋼過濾器

超高純度直線式氣體過濾器。

316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。

滿足高溫及動(dòng)態(tài)壓力工況應(yīng)用。

緊湊的及可選終端接口設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品特性流量范圍廣，從15至300 SLPM。

與大多數(shù)高純半導(dǎo)體工藝氣體具有優(yōu)異的兼容性。

3納米顆粒過濾精度，以最小的壓降保持最高的流動(dòng)效率。

內(nèi)表面電解拋光處理，去離子水清洗后用熱氮烘烤，達(dá)到半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)。

百級(jí)潔凈間制造、清洗及包裝。

100%氦泄漏測(cè)試。